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        洞察未來!解讀壓力感測器的6大發展動向
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        洞察未來!解讀壓力感測器的6大發展動向

        2020-01-13 17:34:59 來源:感測器專家網 點擊:913

        【大比特導讀】基於MEMS技術生產出來的MEMS壓力感測器,有著智能化、微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生產等優點,現已逐步取代傳統機械感測器的主導地位,被廣泛應用於消費電子、汽車製造、物聯網、航空航天、醫藥化工等領域。

        從世界範圍看,隨著市場變化,壓力感測器的應用在不斷發生演變,未來,壓力感測器的發展動向主要有以下幾個方向。

        1、光纖壓力感測器。

        光纖壓力感測器是一類研究成果較多的感測器,但投入實際領域的並不是太多。

        它的工作原理是利用敏感元件受壓力作用時的形變與反射光強度相關的特性,由硅框和金鉻薄膜組成的膜片結構中間夾了一個硅光纖擋板,在有壓力的情況下,光線通過擋板的過程中會發生強度的改變,通過檢測這個微小的改變數,我們就能測得壓力的大小。這個工作原理類似於光纖位移感測器。光源發出的光出發剔光纖傳輸並投射到膜片的內表面上,然後反射,再由接收光纖接收並傳回光敏元件,使股最的位置發生變化,從而輸出的信號隨之發生變化。

        目前光纖壓力感測器已被應用與臨床醫學,用來測擴張冠狀動脈導管氣球內的壓力。可預見這種壓力感測器在顯微外科方面一定會有良好的發展前景。同時,在加工與健康保健方面,光纖感測器也在快速發展。

        2、電容式真空壓力感測器。

        電容式壓力感測器,是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關係的電量輸出的壓力感測器。它一般採用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關係的電信號。特點是,輸入能量低,高動態響應,自然效應小,環境適應性好。

        而電容式真空壓力感測器性能比普通的電容式壓力感測器要優越。

        比如,EH公司的電容式壓力感測器是由一塊基片和厚度為0.8~2.8mm的氧化鋁(Al2O3)構成,其間用一個自熔焊接圓環釺焊在一起。該環具有隔離作用,不需要溫度補償,可以保持長期測量的可靠性和持久的精度。測量方法採用電容原理,基片上一電容CP位於位移最大的膜片的中央,而另一參考電容CR位於膜片的邊緣,由於邊緣很難產生位移,電容值不發生變化,CP的變化則與施加的壓力變化有關,膜片的位移和壓力之間的關係是線性的。

        最重要的一點是,當電容式真空壓力感測器遇到過載時,膜片貼在基片上不會被破壞,無負載時會立刻返回原位無任何滯后,過載量可以達到100%,即使是破壞也不會泄漏任何污染介質。

        因此電容式真空壓力感測器具有廣泛的應用前景。

        3、耐高溫壓力感測器

        新型半導體材料碳化硅(SiC)的出現使得單晶體的高溫感測器的製作成為可能。Rober.S.Okojie報導了一種運行試驗達500℃的α(6H)SiC壓力感測器。實驗結果表明,在輸入電壓為5V,被測壓力為6.9MPa的條件下,23500℃時的滿量程輸出為44.66~20.03mV,滿量程線度為20.17%,遲滯為0.17%。在500℃條件下運行10h,性能基本不變,在100℃和500℃兩點的應變溫度係數(TCGF),分別為20.19%/℃和-0.11%/℃。

        這種感測器的主要優點是PN結泄漏電流很小,沒有熱匹配問題以及升溫不產生塑性變行,可以批量加工。Ziermann,Rene報道了使用單晶體n型β-SiC材料製成的壓力感測器,這種壓力感測器工作溫度可達573K,耐輻射。在室溫下,此壓力感測器的靈敏度為20.2muV/VKPa。

        耐高溫壓力感測器可在高溫環境下對各種氣體、液體的壓力進行測量。主要用於測量鍋爐、管道、高溫反應容器內的壓力、井下壓力和各種發動機腔體內的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領域。

        4、MEMS壓力感測器。

        在微機械加工技術逐漸完善的今天,硅微機械感測器在汽車工業中的應用越來越多。而隨著微機械感測器的體積越來越小,線度可以達到1~2mm,可以放置在人體的重要器官中進行數據的採集。據報道,用於測量眼球的眼壓計,其膜片直徑為1mm。在內眼壓為60mmHg時,靜態輸出為40mV,靈敏度係數比較高。

        基於MEMS技術生產出來的MEMS壓力感測器,有著智能化、微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生產等優點,現已逐步取代傳統機械感測器的主導地位,被廣泛應用於消費電子、汽車製造、物聯網、航空航天、醫藥化工等領域。

        5、具有自測試功能的壓力感測器。

        為了降低調試與運行成本,具有自測試功能的壓阻、電容雙元件感測器被研究出來。它的自測試功能是根據熱驅動原理進行的,尺寸很小,適用於生物醫學領域。

        6、多維力感測器。

        六維力感測器的研究和應用是多維力感測器研究的熱點,現在國際上只有美、日等少數國家可以生產。

        在我國台湾理工大學在跟蹤國外發展的基礎上,又開創性的研製出組合有壓電層的柔軟光學陣列觸覺,陣列密度為2438tactels/cm2,力靈敏1g,結構柔性很好,能抓握和識別雞蛋和鋼球,現已用於機器人分選物品。

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